壓電光學旋轉臺是基于逆壓電效應驅動、專為光路中光學元件做超精細角度調節/連續旋轉的核心部件,廣泛用于半導體、生物成像、精密光學檢測等領域,區別于電磁電機臺,其響應快、分辨率達微弧度/納弧度級。
壓電光學旋轉臺的特性:
高精度:壓電陶瓷具有較高的形變精度和穩定性,能夠實現微納米級的旋轉控制,滿足高精度光學操控需求。
快速響應:壓電陶瓷的響應速度極快,能在極短時間內完成旋轉動作,適用于需要快速響應的場合。
穩定性強:壓電陶瓷具有良好的溫度穩定性和時間穩定性,能長時間保持穩定輸出,確保長時間運行和復雜環境中的性能穩定。
體積小巧:采用精密機械設計和高集成度電子元件,體積小巧、重量輕,便于在有限空間內實現高精度光學操控。
應用場景:
光學檢測與計量:干涉儀、橢偏儀中波片/偏振片角度微調,激光雷達光束穩定,光譜儀光路切換;
半導體與光刻:晶圓檢測中物鏡角度補償,掩膜對準,光纖陣列耦合;
生物醫學成像:共聚焦顯微鏡載物臺旋轉,光鑷系統中粒子角度操控,雙光子顯微鏡光束掃描;
自適應光學:快速反射鏡角度補償,波前校正。