光學(xué)共聚焦測(cè)試系統(tǒng)是一種基于共聚焦原理的高精度光學(xué)測(cè)量設(shè)備,它通過光學(xué)共聚焦效應(yīng)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的掃描測(cè)量,從而獲取高分辨率的三維形貌信息。
光學(xué)共聚焦測(cè)試系統(tǒng)的工作原理基于共聚焦原理和光學(xué)掃描技術(shù)。系統(tǒng)通過激光束對(duì)樣品表面進(jìn)行點(diǎn)掃描,同時(shí)利用共聚焦針孔排除焦平面以外的雜散光。通過測(cè)量反射光的強(qiáng)度或波長信息,系統(tǒng)可以獲取樣品表面的高度信息,進(jìn)而重建出樣品的三維形貌。此外,系統(tǒng)還可以結(jié)合拉曼光譜和磁光克爾模塊,對(duì)樣品的化學(xué)成分和磁光性質(zhì)進(jìn)行分析。
特點(diǎn):
高分辨率:光學(xué)共聚焦測(cè)試系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)甚至更高分辨率的測(cè)量,滿足對(duì)微觀形貌的高精度需求。
非接觸測(cè)量:系統(tǒng)采用非接觸測(cè)量方式,避免了對(duì)樣品的損傷和污染,適用于各種脆弱或易污染樣品的測(cè)量。
多功能集成:系統(tǒng)集成了共聚焦顯微成像、拉曼光譜和磁光克爾等多種功能模塊,能夠同時(shí)獲取樣品的多方面信息。
靈活性強(qiáng):系統(tǒng)支持不同波長的激光器和光學(xué)元件的更換,以適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。
日常維護(hù):定期清潔物鏡與濾光片;避免激光直射眼睛;每年計(jì)量標(biāo)定;防潮防塵;熒光樣品避光,防止淬滅。