壓電三維掃描臺(tái)，通孔型，電容閉環(huán)傳感

壓電載物臺(tái)·閉環(huán) Carrier.SL200.XY / XYZ

? 針對(duì)載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"需求的定制化解決方案

• 兩維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；

• 三維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um × 200 um；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 2 nm；

• 最大負(fù)載 500 g；

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案；

• ?持無(wú)磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；

壓電三維掃描臺(tái)，通孔型，電容閉環(huán)傳感——詳細(xì)參數(shù)：

壓電三維掃描臺(tái)，通孔型，電容閉環(huán)傳感——尺寸圖：

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列（標(biāo)準(zhǔn)型）和Carrier.SL 系列（輕量型）。Carrier.S & SL 系列主要針對(duì)精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場(chǎng)景，覆蓋載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"等需求，核心特點(diǎn)包括：

• 運(yùn)動(dòng)方式覆蓋線性運(yùn)動(dòng) & 俯仰運(yùn)動(dòng)

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等運(yùn)動(dòng)形式全面支持

• 線性運(yùn)動(dòng)行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

• 超快運(yùn)動(dòng)響應(yīng) & 長(zhǎng)時(shí)間疲勞測(cè)試

• 支持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)